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    PR式等離子處理設備
    產品簡介
    真空等離子體處理設備適用于產品表面凈化、活化、粗化、刻蝕及接枝,可以用于處理各種材料,包括高分子材料,金屬或半導體等。
    產品優勢
    • 人機交互系統
    • 適用于結構復雜的3D工件
    • 不改變機體固有特性,改性僅發生在表面
    • 全程干法處理,無污染
    • 低溫處理,適用于熱敏感材料
    • 高穩定性,使用壽命長
    • 低能耗,低保養費用
    產品應用
    • 生物醫療:培養皿,生物導管,等離子殺菌
    • 電子行業:半導體,PCB
    • 光學玻璃
    • 汽車行業
    • 手機行業
    • 涂裝印刷
    • 家用電器
    • 合成纖維
    產品參數
    供給需求
    • 電源:380V/50Hz,三相,15A
    • 工藝氣體:輸入壓力0.2MPA
    • 吹掃氣體:輸入壓力0.2MPA
    • 壓縮空氣:輸入壓力0.6MPA
    可選配置
    • 1%精度的真空規
    • 循環水冷機
    • 壓力控制器
    • 指示燈柱
    • 耐腐蝕性氣體的MFC
    • 真空泵

    設備型號

    技術配置

    PR-80

    PR-130

    外形尺寸

    980x950x1650mm

    1050x1020x1750mm

    反應腔尺寸

    450x400x450mm

    530x520x460

    真空腔體材料

    鎂鋁或316不銹鋼

    真空泵

    油泵/干泵(羅茨組合)

    角閥

    超高真空KF40

    流量控制器及顯示儀

    MKS 0-500 sccm

    真空顯示規管及讀取器

    ULVAC,INFICON

    射頻電源

    13.56 MHZ

    PLC系統

    西門子

    電器系統

    施耐德

    變頻器

    西門子2KW

    觸摸屏

    10.7寸

    處理氣體

    O2 Ar2 N2 H2 CF4